n.amc powered by amcoss
Vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitung bis 150 mm
Mit der n.amc-Serie bieten wir vollautomatische Single Wafer Bearbeitungsanlagen für die Belackung, Entwicklung, Reinigung, Temperierung sowie das Lift-off und Ätzen von Wafern und anderen Substraten. Jeder Kunde konfiguriert seine Anlage individuell je nach seinen Anforderungen an den Durchsatz und die nötigen Prozessmöglichkeiten.
Kundenspezifische Prozesse mit Zukunftstauglichkeit
Gerade in der Mikrosystemtechnologie sind die Anforderungen an die Produktionsprozesse und Produktqualität sowie der Kostendruck in der Waferbearbeitung hoch. Genau hier setzen wir mit unseren n.amc Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen an: Wir fokussieren uns auf die Bedürfnisse unserer Kunden und auf eine attraktive Kosten-Nutzen-Kalkulation. Jedes Tool ist daher entweder auf flexible Einzelanwendungen oder auf hohen Durchsatz optimierbar. Unabhängig davon steuert die n.ams PILOT Software in jeder Anlage die Prozesse, unterstützt den Bediener und optimiert alle Abläufe. So erhalten Sie mit unseren Anlagen Lösungen für die Belackung, Entwicklung, Reinigung, Temperierung und das Lift-off von Substraten, mit denen Sie Ihre Ziele erreichen können.
Der Einsatz der richtigen Maschinen in der Produktion ist ein Aspekt, der die Nachhaltigkeit eines Unternehmens und dessen Produkte weitreichend beeinflusst. Mit dem Kauf einer Anlage von amcoss entscheiden Sie sich nicht nur für eine intelligente technische Lösung, sondern für mehr Effizienz in unterschiedlicher Hinsicht.
So gut wie alle Features in unseren n.amc Anlagen, wie etwa die linearen Motorachsen zur Düsenpositionierung oder die besonderen EBR-Lösungen, sind darauf ausgelegt, flexible Prozesse zu ermöglichen und zu optimieren. Die n.ams PILOT Software trägt mit ihrer präzisen Systemkontrolle ebenfalls wesentlich dazu bei. Das verbessert sowohl den Durchsatz als auch die Qualität der Endprodukte, reduziert Ausschuss, Ausfallzeiten sowie Fehlerverhütungskosten und bringt eine spürbare Zeitersparnis.
Optimierte Prozesse, attraktive Anschaffungskosten, ein sehr guter Return on Investment, geringe Wartungs- und Ersatzteilkosten und eine lange Lebensdauer aller Komponenten tragen zur Erhöhung der Kosteneffizienz bei. Des Weiteren verbessern die flexiblen Verfahrensmöglichkeiten und die Substratvielfalt die Maschinenauslastung und reduzieren Umbauzeiten. Außerdem sparen die kompakten n.amc Anlagengrundrisse sowie die Möglichkeit einer echten Through-the-Wall-Montage teure Reinraumfläche.
Das Thema Umwelt wird in allen Lebensbereichen immer wichtiger und ist auch für uns eine Herzensangelegenheit, die sich in unseren Anlagen widerspiegelt. Dank des Energy Save Modes in der n.ams PILOT Software sowie z.B. des einzigartigen Dispens-Systems, der Möglichkeit zur Medienwiederverwendung und dem Recycling gelöster Metalle beim Lift-off sowie anderer cleverer Features, werden nicht nur Lacke und Medien, sondern auch Energie eingespart. So entstehen auch weniger Ausschuss und Abfall. Da unterschiedliche Prozesse in einer einzigen kompakten Maschine ablaufen können, ist ihr ökologischer Fußabdruck insgesamt deutlich besser. Nicht zuletzt achten wir, soweit wie möglich, auf eine regionale Lieferkette.
Nachhaltigkeit darf sich nicht nur auf die Technik beschränken, sondern muss den Menschen im Fokus haben. Anlagen müssen einfach, komfortabel und sicher bedienbar sein. Das einzigartige n.amc Bedienkonzept erstreckt sich daher auf alle Bereiche der amcoss Anlagen – angefangen bei der anwenderfreundlichen n.ams PILOT Software bis hin zum Maschinendesign, das etwa einen leichten Zugang zu den mühelos ein- und ausbaubaren Modulen und das einfache Einrichten von Prozessen ermöglicht. Viele integrierte Merkmale erhöhen zudem die Sicherheit des Anwenders.
Maschinentypen
Modular, flexibel, individuell - die n.amc Maschinenserie
Alle n.amc Anlagenmodelle sind als anpassungsfähige Plattformen konzipiert, so dass individuelle Konfigurationen, Prozesslösungen und -kombinationen Standard sind. Dabei sind die Abmaße sehr kompakt und platzsparend – bei der n.amc 1000 beispielsweise, finden auf etwas mehr als einem Quadratmeter 3 Prozesse, 1 Wafer-Handling-Station und bis zu 4 I/O-Stationen Platz und es können flexibel Wafergrößen von 2″ bis 6″ bearbeitet werden.
n.amc 500
Unsere Mini-Anlage für innovative Nassprozesse
Diese extrem kompakte Anlage für Nassprozesse hilft dabei, teure Reinraumfläche optimal auszunutzen.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 150 mm oder bis zu 9 x 9“
- Bis zu 2 I/O-Stationen für 2″ bis 150 mm offene Kassetten
- Max. 3 integrierte, individuell wählbare Chemie-Vorratsbehälter (mehr sind in einem externen Medienmodul möglich)
- 1 zweigeteilter Roboterarm mit einfachem Endeffektor für berührungsarmes Handling
- Außenmaße B x L: 740 mm x 1360 mm
- Eine separate Einhausung des Prozessmoduls aus beständigem Material ergänzt die Sicherheitsmerkmale
n.amc 1000
Unser Einstiegsmodell in die vollautomatische Kleinserienfertigung
Extrem kleine Maschinenoberfläche mit vollautomatischen Prozessen optimal genutzt.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 6“
- Bis zu 4 I/O-Stationen für 2″ bis 6″ (max. 4 x offene Kassetten)
- Max. 3 individuell auswählbare Prozessmodule
- 1 zweigeteilter Roboterarm
- Außenmaße B x L: 1236 mm x 1150 mm
n.amc 2000
Unser „Arbeitstier“ für flexibelste Anwendungen oder hohen Durchsatz
Hochflexible Maschinenkonfiguration und Bearbeitung von unterschiedlichen Wafergrößen.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 6“
- Bis zu 4 I/O-Stationen für Substrate von 2“ bis 6“ (max. 4 x offene Kassetten) oder
- Max. 5 individuell auswählbare Prozessmodule
- 1 zweigeteilter Roboterarm
- Außenmaße B x L: 1382 mm x 1596 mm
n.amc 2500
Unser „Allrounder“ für vielzählige Prozesse und Substratvarianten
Kompaktes Leistungspaket für hohen Durchsatz.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 6“
- Je nach Konfiguration des Wafer-Handlings bis zu 4 I/O-Stationen (max. 4 x offene Kassetten)
- Max. 7 individuell auswählbare Prozessmodule
- 2 zweigeteilte Roboterarme oder
- 1 zweigeteilter Roboterarm auf linearer Schiene
- Außenmaße B x L: 1414 mm x 2048 mm
