Unsere n.amr-Serie für die Beschichtung, Entwicklung, Reinigung, das Lift-off, Ätzen, Vapor Priming und Heizen von einzelnen Substraten ist ein komplett modulares System und perfekt für die Anforderungen in der Einzel- und Kleinserienfertigung. Die Steuerungseinheit, die das Kontrollsystem mit der n.ams PILOT Software enthält, ist je nach Kundenbedürfnissen und spezifischen Prozessanforderungen flexibel mit einer oder mehreren ausgewählten Prozesseinheiten kombinierbar. Jede Einheit enthält jeweils ein Prozessmodul (Beschichter, Entwickler, Reiniger, Lift-off, Ätzer, Hot-/Coolplate, Medienmodul). Unsere Kunden stellen also ihre persönliche amr Anlagen absolut individuell zusammen. Je nachdem, welche Waferdurchmesser bearbeitet werden sollen, werden die Prozesseinheiten mit unterschiedlichen größenabhängigen Prozessmodulen bestückt. Es ergeben sich somit zwei amr Größenvarianten, die jedoch dieselben Gehäuseabmessungen haben:

n.amr – für Wafergrößen von 2“ bis 150 mm im Durchmesser sowie Small Pieces

Selbstverständlich enthalten alle n.amr Einheiten die bewährten Prozessmodule aus unseren n.amc Anlagen mit all ihren durchdachten Merkmalen. Der einzige Unterschied besteht im Wafer-Handling, das im Gegensatz zur n.amc Serie bei den n.amr Tools nicht automatisch abläuft. Das bedeutet, dass der Operator die Substrate von Hand in die Prozessmodule einlegt und herausnimmt. Die Prozessabläufe selbst erfolgen aber wie gewohnt vollautomatisch und werden ebenfalls von unserer intelligenten n.ams pilot Software kontrolliert und gesteuert. Vorhandene Rezepte können von den bzw. in die n.amc Anlagen übernommen werden.

Alle Prozesseinheiten haben dieselben kompakten und platzsparenden Abmaße (außer der Kontrolleinheit, die sogar noch kleiner ist). Das macht den Raumbedarf leicht planbar und spart teure Produktions- bzw. Laborfläche.

Kontrollsystem mit n.ams PILOT Software für die Steuerung und die einfache Bedienbarkeit der verbundenen Prozesseinheiten