Nassverarbeitungssysteme
n-chemixx-SERIE
Von agilen halbautomatischen F&E-Systemen bis hin zu vollautomatisierten Kassetten-zu-Kassetten-Plattformen für die Massenproduktion deckt die n.chemixx-Serie das gesamte Spektrum der Nassprozesstechnologie ab. Unsere Lösungen sind auf Flexibilität, Präzision und Skalierbarkeit ausgelegt und fördern Innovation und Effizienz sowohl in Forschungslabors als auch in industriellen Fertigungsumgebungen.
Typen
Semi-automatic Systems
n-chemixx
bis zu Ø12" / 9"x9"
Anwendungen:
Ätzen von Fotomasken oder Wafern & Reinigung
Automatisierte kombinierte Cluster-Systeme
n-chemixx 80X
bis zu Ø8“ (200 mm)
Anwendungen:
Nassätzen, Reinigen, Lift-Off, Stripping
n-chemixx 120X
bis zu Ø12“ (300 mm)
Anwendungen:
Nassätzen, Reinigen, Lift-Off, Stripping
