Systeme für große Substrate
n-maxx-SERIE
Unsere auf Leistung und Skalierbarkeit ausgelegte n.maxx-Serie unterstützt Substrate bis zu 1.300 x 1.300 mm (51 x 51 Zoll) und bietet ein komplettes Spektrum an Verarbeitungssystemen - von halbautomatischen Plattformen für F&E bis hin zu vollautomatischen kombinierten Clustersystemen für die Produktion mit hohem Durchsatz.
Typen
Halbautomatische Systeme
n-maxx C
Anwendungen: Spin Coating mit CCP
n-maxx H
Anwendungen: Hotplate, Coolplate
n-maxx W
Anwendungen: Nassreinigen, -ätzen
Automatisierte kombinierte Cluster-Systeme
n-maxx
bis zu Ø78"
Anwendungen:
- Spin Coater
- Spray Coater
- Hotplate / Coolplate
- Developer
- SmartEBR
- mit Handlingsystem
