Wir bieten Inkjet-Lösungen für die Halbleiterindustrie an
Die n.jet semicon-Serie bietet eine breite Palette von Prozessen für den Front- und Backend-Bereich an. Das System verfügt über ein integriertes Edge-Handling für jeden Substrattyp und jede Wafergröße, eine Integration mit dem MES-System (z. B. SECS-GEM) und modernste Pre- und Post-Processing-Module.
Unsere Strategien für den Düsenwechsel und unsere vollständige Prozesskontrolle verbessern die Ausbeute und die Prozessstabilität. Das System kann mit hochpräzisen Dosiereinheiten kombiniert werden, die das Fenster der verarbeitbaren Materialien innerhalb derselben Plattform weiter vergrößern.
Haupteigenschaften
- Hochpräziser Tintenstrahldruck
- Tropfenplatzierungsgenauigkeit von mehr als 5 Mikrometer
- Hohe Gleichmäßigkeit
- Bis zu 8 verschiedene Flüssigkeiten in einem Druck
- Unterstützt Druckköpfe aller großen Hersteller
Benutzerfreundlichkeit und Wartung
Die n.jet semicon bietet Lösungen für eine große Vielfalt von Anwendungen. Unsere Druckstrategien erhöhen die Nutzbarkeit der Plattform und die Prozessausbeute, indem sie den Bedarf an manuellen Eingriffen oder eine manuelle mechanische Ausrichtung der Druckköpfe minimieren.
Unser praxiserprobtes, fortschrittliches Druckkopf-Wartungssystem erhöht die Betriebszeit der Plattform. Kein direkter Kontakt mit der Düsenplatte des Druckkopfs führt zu einer höheren Strahlstabilität und einer längeren Lebensdauer des Druckkopfs. Unsere automatisierte Düsenkalibrierung und fortschrittlichen Strategien für den Düsenwechsel bieten Ihnen eine vollständige Prozesskontrolle und zuverlässige Ergebnisse.
Anwendungen
Automatisierung und Prozessintegration
Die n.jet semicon verfügt über ein optionales Waferhandling für verschiedene Substratgrößen und kann mit weiteren Vor- und Nachbearbeitungsstationen ausgestattet werden, um eine vollständig integrierte Lösung für Ihre Prozessanforderungen zu bieten:
- Roboterhandling von / zu Kassetten inkl. Wafermapping & Prealignment
- Plasmareinigung, Hotplates, UV-Härtung und mehr
