Semiconductor

Die "n.jet semicon"-Reihe bietet eine breite Palette für Frontend- und Backend-Prozesse in der Halbleiterindustrie. Diese Plattform verfügt über ein integriertes Kantenhandling für alle Substrattypen oder Halbleitergrößen, eine Integration mit einem MES-System (z. B. SECS-GEM) und hochmodernen Vor- und Nachbearbeitungsmodulen. Unsere Düsenersetzungs-Strategie und die vollständige Prozesskontrolle verbessern Ergiebigkeit und Arbeitsablauf. Das System kann mit hochpräzisen Dispense-Einheiten kombiniert werden, die das Fenster verarbeitbarer Materialien auf derselben Plattform weiter vergrößern.

Anwendungen:

  • Fotolackdruck
  • Abscheidung von sensoraktive Tinten
  • Chip-Packaging
  • Drucken von Dielekrika, leitfähigen Tinten und Klebstoffen