Neue Möglichkeiten für NIL mit Inkjet
Notion Systems und EV Group (EVG) gaben im April 2023 eine Vereinbarung zur Entwicklung der ersten voll integrierten und automatisierten Nanoimprint-Lithografie (NIL) mit Inkjet-Beschichtungsmöglichkeiten bekannt. Im Rahmen der gemeinsamen Vereinbarung werden die beiden Unternehmen ein maßgeschneidertes Inkjet-Modul entwickeln, das in die branchenführende HERCULES® NIL-Plattform von EVG integriert wird und auf der SmartNIL®-Technologie von EVG basiert.
Das neue Inkjet-Modul von Notion Systems wird die bestehenden Spin-Coating-Module von EVG ergänzen und als alternative Option für das Aufbringen von NIL-Fotoresisten auf Substrate für hochvolumige Fertigungsanwendungen (HVM) für NIL angeboten, die besondere Anforderungen an die Schichtabscheidung und Gleichmäßigkeit stellen. Um Kunden den Einstieg in ihre F&E-Aktivitäten zu erleichtern, hat Notion System ein n.jet lab NIL-System entwickelt, das potenziellen Kunden die Möglichkeit gibt, das System als Stand-Alone-System zu nutzen. Voraussetzung ist, dass die potenziellen Kunden bereits NIL-Systeme von EVG einsetzen und die von EVG entwickelten Prozesse und Tinten verwenden.
Neben dem voll integrierten Inkjet-Modul bietet Notion Systems ein Stand-Alone-System namens n.jet lab NIL für Kunden an, die an der Prozessentwicklung oder der Produktion kleinerer Mengen interessiert sind.
UV - NIL
SmartNIL® / Linsenformung
Nanostrukturierte Oberflächen mit höchster Auflösung in UV-härtenden Harzen
Vorteile von Inkjet Druck für NIL
